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2025-03

星期 四

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进入90年代以后，随着微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)和微加工技术的发展,基于MEMS技术的微型加速度传感器也随之迅速发展。MEMS加速度传感器具有成本低，体积小，重量轻、功耗低、精

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