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2025-10

星期 二

上海mems真空计公司 上海辰仪测量技术供应

2.热传导真空计热传导真空计通过气体热传导的变化来测量压力,适用于低真空和中真空范围。(1)皮拉尼真空计原理:利用加热丝的热量损失与气体压力之间的关系测量压力。测量范围:10⁻³Torr到10Torr。优点:响应快、成本低。缺点:

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上海mems电容真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应

热阴极电离真空计(Bayard-Alpert计)通过加热阴极(铱合金或氧化钇涂层钨丝)发射电子,电子撞击气体分子产生离子,离子电流与压力成正比。量程10⁻¹~10⁻⁸Pa,精度±20%。需避免氧气环境导致阴极氧化,且高压(>

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上海mems电容真空计生产厂家 上海辰仪测量技术供应

微压差真空计(差压规)测量两个腔室压差,量程1~10⁻⁴Pa,精度±0.1%。应用包括检漏仪(氦质谱仪参考端压力监控)和分子泵前级压力控制。硅谐振式传感器(如横河EJA系列)温度稳定性达±0.1%FS/年。20.真空计的未来发展趋

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皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳,内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路,并负责信号放大和信号数字化的工作。根据测量方式的不同,皮拉尼真空计可以分为定电流式和定电压

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上海mems电容真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应

真空计相关知识:真空计的通信接口现代真空计标配RS485/Modbus协议,**型号支持EtherCAT(延迟<1μs)。数字输出可减少模拟信号噪声,如电离规的离子电流低至10⁻¹²A。物联网型真空计集成自诊断功能(如INF

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