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25
2025-10
星期 六
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上海陶瓷真空计公司 上海辰仪测量技术供应
在实际应用中,不同类型的真空计通常结合使用,以覆盖不同的压力范围。同时,为了确保真空计的精度和可靠性,需要定期对其进行校准和维护。此外,在选择真空计时,还需要考虑其测量范围、精度、响应时间等性能指标,以及工作环境中的气体种类、温度
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25
2025-10
星期 六
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上海高纯度真空计 上海辰仪测量技术供应
常见的真空计类型包括:直接读取式真空计:如U型管压力计、压缩式真空计等,它们直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。这类真空计对所有气体都是准确的,且与气体种类无关。相对真空计:如热传导真空计、
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25
2025-10
星期 六
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上海高精度真空计公司 上海辰仪测量技术供应
真空计用于测量真空系统中的压力,使用方法如下:1.选择合适类型根据测量需求选择合适的真空计类型,常见的有:热偶真空计:适用于低真空(1Pa-1000Pa)。电离真空计:适用于高真空(10^-3Pa-10^-8Pa)。皮拉尼真空计:
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25
2025-10
星期 六
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上海陶瓷真空计 上海辰仪测量技术供应
金属薄膜真空计性能特点高灵敏度:金属薄膜真空计通常具有较高的灵敏度,能够准确测量微小的压力变化。宽测量范围:虽然具体范围取决于金属薄膜的材质和厚度,但金属薄膜真空计通常具有较宽的测量范围,适用于从低真空到高真空的不同环境。稳定性好
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24
2025-10
星期 五
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上海皮拉尼真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以

